Cukup sulit untuk melacak siapa sesungguhnya ulama pertama yang membagi tauhid menjadi tiga komponen tadi. Dalam kitab syarh Ibnu Abil Iz yang bermazhab hanafi (368-463 H), dia menyatakan: pembahasan tauhid mencakup tiga hal, yaitu pembahasan terkait sifat, tauhid rububiyyah, yaitu yang menerangkan bahwa allahlah pencipta segala sesuatu, dan ketiga tauhid uluhiyyah, yaitu bahwa hanya allah saja yang layak untuk disembah.
Dalam menafsirkan ayat berikut: (وله أسلم من في السموات والأرض طوعاً وكرهاً
Artinya: « Padahal hanya kepada-Nya tunduk siapapun yang ada di langit-langit dan di bumi baik karena taat maupun terpaksa. Dan hanya kepada-Nya mereka dikembalikan.” (QS. Ali Imran:83)
Imam Thabari (224-310 H) berkata, “Seluruh yang ada di langit dan di bumi tunduk kepada Allah. Mereka tunduk secara ubudiyah dan menyatakan sifat rububiyyah Allah. Mereka tunduk dengan tauhid yang penuh ikhlas dengan mengesakan Allah (uluhiyyah), baik dengan suka rela atau terpaksa.
Meski demikian, Imam Thabari belum secara sharih menyatakan bahwa bahasan tauhid dibagi menjadi tiga seperti di atas.
Dalam fatawanya, Ibnu Taimiyah (661-726 H) sudah memberikan pembagian secara sharih. Demikian juga dengan Muhammad bin Abdul Wahab, pemimpin gerakan wahabiyah. Bahkan dari kalangan mereka (wahabi), pembagian tauhid menjadi tiga tersebut popular.
